Компактный лазер с ультрафиолетовым «штопором» 193 нм: китайские учёные объединили нанолитографию, защиту данных и манипуляцию наночастицами в одной системе

Глубокий ультрафиолет (DUV) с длиной волны 193 нм — золотой стандарт в производстве микропроцессоров. Этот свет позволяет «вырезать» на кремниевых пластинах элементы размером в несколько нанометров, формируя основу современных электронных устройств. Однако традиционные источники такого излучения — громоздкие газовые лазеры — ограничивают миниатюризацию и энергоэффективность установок. Прорыв совершили исследователи из Китайской академии наук: они создали первый компактный твердотельный лазер, генерирующий не только 193-нм излучение, но и вихревой пучок, способный совершить революцию в нанолитографии и квантовых технологиях. Иллюстрация: Prof. Hongwen Xuan (Chinese Academy of Sciences) Новая система работает на частоте 6 тысяч импульсов в секунду. Её сердце — усиливающий элемент из кристалла Yb:YAG, выращенного в лаборатории. Исходный инфракрасный лазер (1030 нм) разделяется на два пучка. Первый проходит через систему кристаллов, преобразующих его в ультрафиолетовый луч 258 нм мощностью 1,2 Вт. Второй проходит через оптический преобразователь, генерируя излучение 1553 нм (700 мВт). Оба пучка сводятся в каскаде кристаллов LBO (триборат лития), где за счёт нелинейных эффектов рождается целевое излучение 193 нм. Результат — 70 мВт мощности при ширине спектральной линии менее 880 МГц, что критически важно для чёткого травления микросхем. Главная инновация — превращение луча в «световой штопор». Учёные добавили в систему...

04:17, 23.03.2025

Рубрика: «Наука и Технологии» Поделиться:

Ученые предложили лечить болезнь Альцгеймера наночастицами куркумина Ученые из Университета Калабрии в Италии обнаружили, что куркуминсодержащие наночастицы мо ...

Наногардиан: российские ученые улучшили антимикробную ткань наночастицами серебра «Наногардиан»: российские ученые улучшили антимикробную ткань наночастицами серебра Усовершенствованное антимикробное покрытие «Наногардиан» для нанесения на ткань, которое н ...

Ученые создали лазер для изготовления строительных блоков из лунной пыли В базе препринтов arXiv. org появилась статья исследователей из Финляндии и США о том, как ...

Huawei выйдет в космос: китайские спутники заработают на операционной системе OpenHarmony Многие отрасли китайской промышленности нуждаются в импортозамещении не только на Земле, н ...